Sensori e applicazioni Uso nel vuoto Maggiore precisione.

Sensori Micro-Epsilon nel vuoto ■ Ambienti sotto vuoto ■ Applicazione di misurazione nel vuoto ■ Applicazione di misurazione dall’esterno al vuoto

Intervalli di pressione 11 Torr Pa mbar Livelli di vuoto mainSENSOR Basso Vuoto Medio vuoto Alto vuoto Ultra alto vuoto 10- 12- 11 Fonte: iTeh STANDARD PREVIEW, 2019. Conforme alla norma ISO 3529-1:2019

Settori tipici

I sensori robusti e compatibili per il vuoto di Micro-Epsilon sono in grado di sopportare i requisiti elevati di un ambiente sotto vuoto. Più bassa è la pressione desiderata, più elevati sono i requisiti dei materiali nel vuoto. In particolare, alti vuoti e ultra alti vuoti pongono requisiti particolarmente elevati ai componenti utilizzati e quindi anche alla metrologia. Micro-Epsilon offre sensori personalizzati in base alle specifiche del cliente. I sensori per vuoto robusti e ad alte prestazioni di Micro-Epsilon sono fabbricati in una camera sterile di classe ISO 6. Controlli regolari come...

Variazioni di misura Misurazione nel vuoto In questa applicazione, parte del sistema si trova nel vuoto. Variante 1: Sia il sensore che il cavo compatibile con il vuoto vengono introdotti nella camera del vuoto attraverso un passante per vuoto. Variante 2 (sensore customizzato): Solo il sensore si trova nel vuoto. Il sensore funge da passante per vuoto e può essere sviluppato anche in base alle esigenze del cliente. La misurazione nel vuoto deve soddisfare requisiti elevati. Nelle prime due varianti, il controller è sempre situato all’esterno del sistema. Misurazione dall’esterno in ambiente...

Applicazione di misurazione nel vuotoSottosistema nel vuoto // Sensori otticioptoNCDT ■ Sensore di spostamento compatto a triangolazione laser per misurazioni rapide e precise ■ Misurazione della distanza e dello spostamento senza contatto con ampi campi di misura ■ Elevata precisione su numerose superfici ■ Design compatto e installazione facile ■ Applicazione fino al basso vuoto I sensori laser optoNCDT hanno un design estremamente compatto e dispongono di un controller totalmente integrato. Questo permette di semplificare e velocizzare estremamente montaggio e cablaggio. Questi sensori laser...

Produzione additiva Ricerca e sviluppo Saldatura laser nel vuoto Tecnologia dei semiconduttori Lucidatura e lappatura di wafer

Applicazione di misurazione nel vuotoSottosistema nel vuoto // Sensori otticiconfocalDT ■ Misurazione dello spessore e della distanza ■ Ampio angolo di inclinazione ■ Applicazione fino all’ultra alto vuoto I sensori confocalDT sono costruiti con componenti passivi e non emettono pertanto radiazioni termiche nell’ambiente. Micro-Epsilon offre sensori, cavi e accessori per l’uso nel vuoto, adatti alle rispettive specifiche (camera sterile, vuoto, ultra alto vuoto UHV). Sono disponibili sensori compatibili con il vuoto con diversi campi di misura, sia con percorsi del fascio assiali che radiali....

Posizionamento della maschera

Applicazione di misurazione nel vuoto Sottosistema nel vuoto // Sensori ottici (ww) (fjl)interferoMETER ■ Misurazione della distanza assoluta con precisione nanometrica ■ Misurazione della distanza multi-picco e dello spessore multistrato ■ Misurazioni dello spessore precise, indipendentemente dalla distanza del sensore ■ Elevata stabilità di segnale ■ Applicazione fino all’ultra alto vuoto Gli inteferometri a luce bianca industriali sono composti da un robusto sensore, da un cavo ultra flessibile e da un controller con corpo in alluminio fissato a una guida DIN. Grazie al design robusto, l’interferometro...

Applicazioni Produzione di wafer Posizionamento della maschera in litografia

Applicazione di misurazione nel vuoto Sottosistema nel vuoto // Sensori elettromagnetici ■ Sensori induttivi (correnti parassite) per spostamento, distanza, posizione ■ Misurazione della distanza e dello spostamento senza contatto ■ Risposta in frequenza elevata per misurazioni dinamiche ■ Stabilità in temperatura, ideale per condizioni ambientali difficili ■ Configurazioni resistenti alla pressione fino a 2000 bar ■ Sensori a catalogo fino al medio vuoto, possibilità di prodotti OEM fino all’ultra alto vuoto I sensori di spostamento eddyNCDT sono progettati per il rilevamento senza contatto...

Applicazioni Misurazione delle vibrazioni Operazioni di posizionamento per wafer o ponti Litografia Tecnologie di rivestimento Aerospazia

Applicazione di misurazione nel Sottosistema nel vuoto // Sensori elettromagnetici ■ Sensori di spostamento capacitivi per misurazioni industriali ■ Elevata precisione anche in presenza di fluttuazioni di temperatura ■ Ideali per misurazioni stabili a lungo termine ■ Applicazione fino all’ultra alto vuoto I sensori di spostamento capacitivi sono spesso utilizzati in condizioni di vuoto o nelle camere bianche. Negli ambienti privi di particolato, i sensori capacitivi di Micro-Epsilon raggiungono una risoluzione subnanometrica. I sensori capaNCDT sono utilizzati per la misurazione dello spessore...

Applicazioni Regolazione di lenti / ottiche Produzione di wafer Allineamento del catodo sull’acceleratore di elettroni Misura dell’impatto delle onde nel vuoto Strumento di impostazione per processi di incollaggio / posizionamento tra due corpi prismatici Banco di prova per motori elettrici Misurazione dell’espansione Allineamento delle apparecchiature satellitari Stampa 3D / sinterizz

mainSENSOR ■ Sensori dal design robusto ■ Sensori dalla concezione flessibile ■ Applicazione fino all’alto vuoto I sensori magneto-induttivi misurano la distanza dai magneti permanenti e sono quindi in grado di eseguire misurazioni anche attraverso materiali non ferromagnetici, in particolare metalli come alluminio e acciaio inossidabile. Per le applicazioni in sistemi chiusi o custodie, questo è un vantaggio determinante poiché sensore e magnete possono essere separati fisicamente. Il magnete, ad esempio, può essere montato in un ambiente difficile e il sensore in un'area sicura. Inizio del...